感應熔煉 的步(bù)驟有用前檢查單(dān)晶爐、試用單晶爐(lu)、單晶爐正式工作(zuo)、熔煉産品抽檢、調(diào)整測試、使用單晶(jing)爐完成後安全斷(duan)電，這些步驟都不(bu)可以省略。
    在感應(ying)熔煉之前應當檢(jian)查好設備，看看有(yǒu)沒有明顯損壞的(de)零部件，然後根據(jù)說明書的要求來(lái)操作試用，如果經(jing)過試用工作正常(chang)，就可以開始正式(shì)生産了，但是生産(chǎn)的過程中也要不(bu)斷地檢查下産品(pin)，看産品的某些指(zhǐ)标是否達标，産品(pǐn)質量是否合格，如(rú)果指标不達标、質(zhì)量不合格就要調(diào)整下機器，直到熔(rong)煉的産品的品質(zhi)達到要求爲止。

    常見的(de)單晶爐故障有晶(jīng)棒晃動，單晶爐晶(jīng)棒晃動機器仍然(rán)可以正常運轉，但(dàn)是生産效率低，感(gan)應熔煉的産品質(zhi)量差所以爲了提(ti)高感應熔煉的效(xiào)率和質量，不能盲(mang)目的熔煉，一定要(yao)對單晶爐進行檢(jian)查。晶棒晃動要檢(jiǎn)查一下提拉頭、冷(leng)卻系統和真空系(xì)統。如果是提拉頭(tou)出現問題，就要維(wei)修調整下減速機(ji)構或旋轉機構。如(ru)果是冷卻系統和(hé)真空系統出現問(wen)題，需要調整一下(xia)矽料和重錘結構(gòu)。如果檢查這些地(di)方沒有問題，看一(yi)下氩氣等惰性氣(qi)體是否在爐内流(liu)動，氩氣在爐内流(liu)動的話，就需要改(gǎi)裝一下單晶爐了(le)，保證單晶爐熱場(chǎng)分布均勻。
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