首先在單(dān)晶爐作業前，要(yào)做好準備工作(zuo)，然後開始進行(hang)熱态檢漏，檢漏(lòu)的要求在3分鍾(zhong)以上，同時要做(zuo)好記錄。接下來(lai)将單晶和籽晶(jing)取出，冷卻後要(yao)對單晶進行參(can)數檢測，同樣需(xū)要做好記錄。接(jie)着将石墨件取(qu)出做好冷卻工(gōng)作，之後要對進(jin)行重量檢測并(bìng)做記錄。然後在(zai)通過真空過濾(lü)器來進行清洗(xǐ)，真空泵油的檢(jian)查更換。完成以(yi)上步驟，就要開(kai)始對石墨，單晶(jing)爐的室内進行(hang)清洗了，知道确(què)認沒有污物爲(wei)止。接下來就是(shi)對石墨的，石英(yīng)坩埚，籽晶進行(háng)安裝，然後進行(hang)抽空繼續檢漏(lòu)。最後引晶，縮頸(jing)，放肩，轉肩，然後(hòu)等徑生長。最後(hou)單晶爐 就進入(ru)收尾工作了。