單晶(jing)爐定義(yì)：

    單晶爐(lu)是一種(zhong)在惰性(xing)氣體（氮(dàn)氣、氦氣(qi)爲主）環(huan)境中,用(yòng)石墨加(jia)熱器将(jiang)多晶矽(xi)等多晶(jing)材料熔(rong)化,用直(zhi)拉法生(sheng)長無錯(cuò)位單晶(jing)的設備(bei)。

    單晶爐(lú)的型号(hào)與命名(ming)：

    單晶爐(lu) 型号有(yǒu)兩種命(ming)名方式(shi)，一種爲(wèi)投料量(liàng)，一種爲(wèi)爐室直(zhí)徑。比如(rú)85爐，是指(zhǐ)主爐筒(tǒng)的直徑(jìng)大小，120、150等(deng)型号是(shì)由裝料(liào)量來決(jué)定的

    技(ji)術要求(qiú)：

    1.單晶爐(lú)裝料量(liàng)（單台機(ji)産能多(duo)少） 2. 能拉(la)多長、幾(jǐ)寸的矽(xi)棒 3. 拉制(zhi)晶棒的(de)成品率(lǜ)是多少(shao)4拉出矽(xi)棒品質(zhì)（少子壽(shou)命、電阻(zu)率、碳氧(yang)含量、位(wei)錯密度(dù)） 5設備制(zhi)造工藝(yi)控制保(bao)證 6自動(dong)化控制(zhi)程度 7設(shè)備主要(yao)關鍵部(bu)件的配(pei)置等 。

    1、穩(wěn)定的機(jī)架結構(gòu)設計，增(zeng)強了設(shè)備在晶(jing)體生長(zhǎng)過程中(zhong)的抗振(zhèn)動能力(li)。

    2、優化的(de)液壓提(ti)升機構(gòu)确保副(fù)爐室提(ti)升和複(fú)位時的(de)運動平(ping)穩性。 

    3、與(yǔ)主機分(fèn)離的分(fen)水器設(shè)計，在減(jian)少冷卻(què)水振動(dòng)對晶體(tǐ)生長的(de)影響的(de)同時優(yōu)化了水(shuǐ)路布局(jú)。 

    4、晶體和(he)坩埚的(de)提升采(cai)用雙電(dian)機結構(gou)，保證穩(wěn)定的低(di)生長速(sù)度以及(jí)坩埚和(hé)籽晶的(de)快速定(dìng)位。 

    5、采用(yòng)無振動(dong)的高性(xìng)能馬達(da)和低噪(zao)聲的減(jian)速器驅(qū)動晶體(tǐ)和坩埚(guo)上升，可(kě)提供穩(wěn)定的低(dī)生長速(sù)度。

    6、設備(bèi)的真空(kong)條件和(he)在真空(kōng)下的可(ke)控惰性(xing)氣體氣(qi)流使得(dé)熱區清(qīng)洗最佳(jiā)化。氧化(huà)矽可以(yi)在不污(wu)染晶體(tǐ)和晶體(tǐ)驅動裝(zhuāng)置的條(tiao)件下排(pai)除。  

    7、帶隔(gé)離閥的(de)副室可(ke)以在熱(re)區保持(chí)工作溫(wen)度的情(qing)況下，取(qu)出長成(chéng)的晶體(ti)或者更(gèng)換籽晶(jing)。 

    8、對惰性(xing)氣體流(liu)量和爐(lu)室壓力(li)高精度(dù)的控制(zhi)能力，爲(wei)生長高(gāo)品質單(dān)晶創造(zao)了條件(jiàn)。 

    9、爐蓋和(hé)爐腔通(tong)過兩個(gè)提升裝(zhuang)置提升(sheng)，很方便(bian)的轉向(xiàng)一邊快(kuai)捷地清(qing)洗。

    10、熔化(huà)溫度通(tong)過對加(jiā)熱器溫(wen)度的電(diàn)控來維(wéi)持和調(diao)節，加熱(rè)電源采(cai)用直流(liu)供電提(tí)高了控(kòng)制精度(du)。高品質(zhì)的加熱(rè)器溫度(dù)測量傳(chuan)感器實(shí)現了精(jing)确的溫(wēn)度控制(zhi)。

    12、整個晶(jing)體生長(zhang)過程由(you)一個高(gāo)可靠的(de)可編程(cheng)計算機(jī)控制器(qì)（PCC）控制，包(bāo)括抽真(zhen)空、熔化(hua)、引晶縮(suo)頸、放肩(jiān)、等經生(sheng)長和尾(wei)錐生長(zhang)，晶體生(sheng)長全過(guò)程可實(shí)現全自(zi)動（CCD）控制(zhi)：。

    13、帶有數(shu)據和報(bào)警過程(cheng)控制的(de)可視化(hua)軟件，存(cun)儲在計(jì)算機的(de)硬盤中(zhong)。

    單晶爐(lu) 在使用(yong)時，爐體(ti)處于高(gao)溫工作(zuo)狀态，并(bing)要求各(gè)運動部(bù)件的運(yun)動穩定(ding)可靠，精(jing)度高（尤(you)其是坩(gān)埚驅動(dong)裝置和(he)籽晶旋(xuan)轉及提(ti)升機構(gou)），工作時(shi)間長。因(yīn)此，在使(shǐ)用過程(chéng)中，要注(zhu)意設備(bei)的維護(hu)與保養(yǎng)。 

    坩埚驅(qū)動裝置(zhì) 

    坩埚驅(qū)動裝置(zhì)要求的(de)運動精(jing)度比較(jiào)高，是設(shè)備的核(he)心運動(dòng)部件，應(yīng)重點維(wéi)護。坩埚(guō)軸是石(shí)墨坩埚(guo)的支撐(chēng)軸，應随(sui)時檢查(chá)其冷卻(que)水的情(qing)況，以免(miǎn)燒損。坩(gān)埚驅動(dong)采用滾(gǔn)珠絲杠(gang)和直線(xiàn)導軌結(jié)構，是坩(gan)埚驅動(dong)的關鍵(jiàn)部件，需(xū)保持清(qing)潔，嚴禁(jìn)灰塵、雜(zá)物附着(zhe)，并定期(qī)塗抹潤(rùn)滑脂。

    籽(zi)晶旋轉(zhuǎn)及提升(shēng)機構的(de)維修 

    籽(zi)晶旋轉(zhuan)及提升(sheng)機構也(ye)是單晶(jing)爐的關(guān)鍵部件(jian)，該部件(jian)運行的(de)好壞直(zhi)接影響(xiang)單晶的(de)生長。因(yin)此，也須(xū)重點維(wei)護。  卷輪(lún)箱是籽(zǐ)晶提升(shēng)的核心(xīn)，卷輪箱(xiāng)内的零(líng)件一般(ban)情況下(xià)不得随(sui)意拆除(chú)，必須拆(chāi)除時，重(zhong)新安裝(zhuang)時必須(xu)保證軟(ruan)軸對中(zhōng)。軟軸鋼(gāng)絲繩在(zài)使用中(zhōng)不準有(you)死彎現(xian)象，并在(zai)每次開(kāi)爐時檢(jiǎn)查鋼絲(si)繩是否(fou)燒損，如(rú)有燒損(sun)應及時(shi)修整或(huò)更換新(xin)的鋼絲(sī)繩。

    其餘(yu)部件的(de)維修

    每(měi)次開單(dān)晶爐 前(qián)應檢查(cha)水路系(xi)統是否(fou)暢通，水(shui)溫檢測(ce)傳感器(qi)安裝是(shi)否正常(chang)。發現有(yǒu)結垢時(shí)應及清(qīng)理。在拉(lā)晶過程(chéng)中，若發(fa)現水壓(yā)報警或(huò)漏水時(shi)要及時(shi)采取措(cuò)施。  真空(kong)管道的(de)過濾網(wang)每爐要(yao)清理一(yī)次，抽氣(qi)管道每(mei)20～30爐清理(lǐ)一次。