真空(kōng)爐系統中的油(you)擴散泵是靠高(gāo)速蒸汽射流來(lái)攜帶氣體以達(da)到抽氣的目的(de),它工作在高真(zhēn)空區域,其工作(zuo)壓強範圍爲10-2~10-6pa。油(yóu)蒸汽從傘形噴(pēn)咀(如I級噴咀)以(yi)超音速噴出後(hou),其速度逐漸增(zeng)大,壓力及密度(du)逐漸降低。
1.概述(shù) 油擴散泵的工(gong)作原理與水蒸(zheng)汽噴射泵相似(sì),都是靠高速蒸(zheng)汽射流來攜帶(dai)氣體以達到抽(chōu)氣的目的,故有(yǒu)如水蒸汽噴射(shè)泵相似的特點(diǎn)。不同點是擴散(san)泵工作在高真(zhen)空區域,其工作(zuò)壓強範圍爲10-2~10-6pa。廣(guang)泛用于電子、化(hua)工、冶金、機械、石(shí)油及原子能等(deng)工業部門中。
2.油(yóu)擴散泵的工作(zuo)原理與結構
當(dāng)油蒸汽從傘形(xing)噴咀(如I級噴咀(jǔ))以超音速噴出(chu)後,其速度逐漸(jian)增大,壓力及密(mì)度逐漸降低,射(shè)流上邊的被抽(chōu)氣體A因密度差(cha)要向蒸汽射流(liu)中擴散并被射(she)流攜帶到水冷(lěng)的泵壁處B,在B處(chù),工作蒸汽大部(bu)分被冷凝成油(yóu)滴沿泵壁流回(hui)到油鍋中循環(huan)使用,而被抽氣(qi)體在B處堆積、壓(yā)縮,最後被下級(jí)射流攜帶走,以(yi)達到逐級壓縮(suo),最後被前級泵(beng)抽走。