單晶(jīng)爐在運作(zuò)過程中因(yin)爲一直都(dou)會處于高(gao)溫的狀态(tài)下，對其他(ta)的零部件(jiàn)要求高且(qie)嚴格，因爲(wèi)需要維持(chi)長時間的(de)工作，所以(yi)需要特别(bie)注意定期(qi)進行必要(yao)的維護保(bǎo)養。
1、坩埚驅(qu)動裝置要(yao)求的運動(dòng)精度比較(jiao)高，是設備(bei)的核心運(yun)動部件，應(ying)重點維護(hu)。坩埚軸是(shì)石墨坩埚(guo)的支撐軸(zhóu)，應随時檢(jiǎn)查其冷卻(que)水的情況(kuang)，以免燒損(sǔn)。
坩埚驅動(dòng)采用滾珠(zhū)絲杠和直(zhí)線導軌結(jie)構，是坩埚(guō)驅動的關(guān)鍵部件，需(xū)保持清潔(jié)，嚴禁灰塵(chén)、雜物附着(zhe)，并定期塗(tú)抹潤滑脂(zhi)。
2、籽晶旋轉(zhuǎn)及提升機(ji)構的維修(xiu)
籽晶旋轉(zhuǎn)及提升機(jī)構也是單(dān)晶爐的關(guan)鍵部件，該(gai)部件運行(hang)的好壞直(zhi)接影響單(dān)晶的生長(zhang)。因此，也須(xū)重點維護(hu)。
卷輪箱是(shi)籽晶提升(shēng)的核心，卷(juan)輪箱内的(de)零件一般(bān)情況下不(bú)得随意拆(chai)除，必須拆(chāi)除時，重新(xīn)安裝時必(bi)須保證軟(ruǎn)軸對中。軟(ruǎn)軸鋼絲繩(sheng)在使用中(zhōng)不準有死(sǐ)彎現象，并(bing)在每次開(kai)爐時檢查(chá)鋼絲繩是(shi)否燒損，如(ru)有燒損應(ying)及時修整(zhěng)或更換新(xīn)的鋼絲繩(shéng)。
編(biān)輯GYN
