現有(yǒu)加熱電源存(cún)在的問題：

    盡(jin)管我國晶體(tǐ)生長設備的(de)自動化程度(dù)有了很大提(ti)高，但是在常(cháng)規的直拉法(fǎ)溫度控制環(huán)節的設計上(shang)還存在以下(xià)問題：

    (1)加熱電(diàn)源的智能化(hua)程度不高。純(chún)模拟電路構(gou)成，單閉環控(kong)制，自動化程(cheng)度偏低，功率(lü)的調節常滞(zhì)後于系統對(duì)溫度的實際(jì)要求。

    (2)溫度需(xu)要手動調節(jie)。該設備在運(yùn)行過程當中(zhōng)不能完全做(zuo)到無人值守(shou)，對于引徑、放(fàng)肩及熔料過(guò)程的溫度控(kòng)制還需要工(gong)作人員通過(guo)電源櫃的旋(xuán)鈕手動調節(jie)輸出值，等徑(jìng)生長過程的(de)實際控溫精(jīng)度與理論值(zhi)也有差距，參(cān)數的設置、調(diao)節和記錄均(jun)需要值守人(rén)員參與完成(chéng)。

    單晶爐改進(jìn)方案：

    裝置采(cai)用模塊化設(she)計，微機控制(zhì)，内置自适應(yīng)能力較強的(de)模糊PID控制算(suan)法，具有控制(zhì)參數自動調(diào)節、顯示，可通(tong)過按鍵設定(ding)初值，系統異(yi)常可自動聲(sheng)光告警等新(xīn)功能，即從整(zhěng)體上提高溫(wēn)控系統的智(zhì)能化程度和(he)控制精度，加(jiā)快參數調節(jie)的響應速度(dù)，使整個生産(chǎn)過程中爐溫(wēn)的變化能快(kuài)速平滑地跟(gēn)随工藝曲線(xian)變化，裝置通(tong)用性強，操作(zuò)上更加簡單(dān)、可靠。

    單晶爐(lú) 主要技術指(zhi)标：

    單晶爐加(jiā)熱電源是一(yi)種大功率直(zhi)流電源，要求(qiu)輸出功率lOOkW，輸(shū)出電壓爲0-5V可(kě)調，輸出電流(liú)爲0-3000A；其輸出的(de)能量可直接(jiē)爲單晶爐内(nèi)的石墨加熱(re)器供熱，加熱(re)溫度範圍爲(wei)o～2000℃，控溫精度要(yao)求達到±5℃；各種(zhong)信号可自動(dong)檢測、顯示，參(can)數的修改和(he)設定可通過(guo)按鍵進行，以(yǐ)此來滿足單(dan)晶矽在生長(zhang)階段對溫度(dù)的嚴格要求(qiú)。