在(zài)
單晶爐
中(zhōng)可以進行(háng)一些操作(zuò),如果把高(gāo)純度的多(duō)晶矽原料(liào)放在高純(chún)度的石英(ying)坩埚中,通(tong)過加熱器(qì)的作用,就(jiu)會産生高(gao)溫,這樣就(jiu)會把它熔(róng)化。如果對(dui)熔化的矽(xī)液進行降(jiang)溫處理,就(jiu)會産生一(yī)定程度的(de)過冷度,然(ran)後再使用(yòng)一個矽單(dān)晶體插在(zai)熔體的表(biǎo)面,需要使(shi)用固定在(zai)籽晶軸上(shang)的矽單晶(jīng)體。可以等(deng)這籽晶可(kě)以和熔體(ti)相融合之(zhi)後,然後慢(man)慢的往上(shang)拉動籽晶(jīng)。然後晶體(ti)就會在慢(man)慢的生長(zhǎng),可以生長(zhǎng)成爲直徑(jing)3至5毫米的(de)細頸。
這個(gè)細頸可以(yi)消除高溫(wēn)溶液産生(shēng)的強烈的(de)沖擊作用(yong),這樣就會(huì)形成一個(ge)錯位,這個(ge)過程就是(shì)引晶。然後(hòu)可以把晶(jīng)體的直徑(jing)放大,将其(qi)放大到工(gōng)藝所要求(qiú)的大小就(jiu)可以,一般(ban)來說,這個(ge)長度是75至(zhi)300毫米,專業(ye)術語則可(kě)以把它稱(chēng)爲放肩。如(rú)果突然将(jiāng)拉速提高(gāo)的話,使肩(jiān)部形成一(yī)個直角。然(rán)後單晶爐(lú)就會進入(ru)等徑工藝(yi),通過對熱(rè)場溫度和(he)晶體來提(tí)升下速度(dù),這樣就會(huì)生成一定(dìng)大小的單(dan)晶柱體。
如(ru)果很多矽(xi)溶液已經(jing)完成了結(jié)晶,就可以(yi)把晶體慢(màn)慢的縮小(xiǎo),直到縮小(xiǎo)爲一個尾(wěi)形的椎體(ti)就可以了(le),一般這個(gè)尾形椎體(tǐ)也被稱爲(wèi)收尾工藝(yi)。這樣就可(ke)以把單晶(jing)的拉制過(guò)程完成操(cāo)作,然後再(zài)經過一定(dìng)的保溫冷(lěng)卻就可以(yǐ)将其取出(chu)來了。
編輯(jí):wq